徐华和李默这两位负责人正在为极紫外光源技术的几个问题进行讨论。
“李博士,虽然我们有复眼镜头的加持,但是在靶材、碎屑污染也是问题啊!”
徐华有些犯愁。
虽然说蜂巢复眼镜头技术的出现,从某种程度上解决了极紫外光源的核心镜片问题,但是仍旧有一些问题存在。
众所周知,euv极紫外光刻机最为关键的部件就是极紫外光源,这就不用多说了。
而极紫外光源主要有五大关键的问题技术需要攻破,才能正式制造出该光源。
其一是多层膜反射镜,由于euv光源子能量极高,几乎可被所有介质所吸收,较高的反射率可以极大提高光源性能。
而经过研究发现,采用mo/si多层膜制备出的反射镜对中心波长为13.5nm、光谱带宽在2%以内euv光的反射率可达70%。
而这一技术在许黎拿出复眼镜头技术之后,经过一番实验后也攻克了。
其二——靶材,为降低离子碎屑、提高euv-ce,人们开始逐渐减小sn靶的尺寸,并最终将液滴sn靶作为主要研究对象。
但是液滴sn的时空的不稳定性,也给光刻机光源的设计和制造增加了难度。
其三其四分别是驱动光源和双脉冲模式,这里不过多讲解。
最后就是碎屑污染的问题,激光等离子体通过激光将入射到靶材产生高温、高密度的等离子体并辐射euv光,其过程必然会产生一定的碎屑(由熔融液滴、微粒团簇、中性碎屑原子和高能离子组成)。
这些碎屑不处理好的话,也会损坏光刻机光学元件,进而影响其性能,甚至对人体健康也有一定的影响。
目前市售euv光刻机产品均采用将充入惰性气体或氢气和外加磁场相结合的方案除去碎屑,当然也可以采用双脉冲方案去除。
不过这两种方案皆是不适用于现在所设计的光源。尒説书网
所以还需要重新商讨和设计一个去除碎屑的方案。
“怎么了?看你们愁眉苦脸的样子。”
一道熟悉的声音在他们耳边响起。
两人转过头去,原来是许黎来了。
他才从施工现场回来,想到最近的euv光源项目研究进展,就顺道过来看看。
“校长,我们正在讨论两个光源的关键难题呢...”
李默解释道,将刚才他们讨论的问题大概说了一遍。
“嗯,这的确是个问题...”
许黎摸着下巴。
“要不我们可以这样.....”
许黎提出了自己的想法。
首先,既然碎屑污染必定会产生,无论是选择哪种方案,都会不可避免地产生碎屑,很多去除碎屑的方法基本基本是阻挡缓冲的作用。
那为何不反过来将其吸收转化,既能大大提高利用率,也能很大程度上减少碎屑污染的问题。
接着靶材方面的话换成锡就可以了,虽然可能会产生不少碎屑,但是只要将吸收转化器做出来,基本能够搞定这个问题,而且也不会加重光源的设计难度。
….“妙啊!校长,你这个想法或许具有较大的可行性!”
徐华眼睛一亮。
“这也算是一个取巧的办法,短期内可以用于去重新研究新靶材,这样也省了很多时间。”
李默也觉得这个想法不错。
“既然如此,我们赶紧试一下,不过我对极紫外光源的一些关键技术还不是很懂,等会也只能搭把手了。”
许黎笑了笑。
虽然他从科技图书馆那里获得了几项科技,但是对于极紫外光源的深入肯定没有眼前这两位深得多。
等会实验的时候也只能做个帮手,顺便学点东西也是好的。
“校长,这你可就谦虚了,要是不懂,蜂巢复眼镜头也不会出现。”
“即使你不懂也没事,相信校长也能做到。”
徐华和李默也笑了一下,他们认为许黎这是在表示谦虚呢。
“好了,废话不讲了,赶紧让人准备实验吧,看看我们的方案是否可行,我们先把碎屑吸转器件给搞出来再说。”
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许黎打断了他们。
“好!”
于是,三人便开始进入紧张而繁忙的实验和研究之中。
许黎在此过程中也是学到了不少。
比如这两位科研人严谨的实验思维和态度,以及其各种操作,还有一些他也不是很清楚的半导体领域基础知识。
这些都让他获益匪浅。
孔子云:“三人行,必有我师焉。”
许黎即使有了外挂,但是他也不是一个骄傲放纵的人。
地球之上,深空宇宙,还有无数比他要强的、知识渊博的存在。
所以向这些长者学习,也能促使自身进步。
期间,许黎也提前打电话给自己母上大人说今晚不回了,要参与实验工作。
而徐华倒是先去休息了,因为他年纪也五十多了,也经不住熬。
实验室里也只剩下许黎和李默以及几个年轻的助手还在坚挺,其他人都让他们回去休息了。
许黎看着几个助手研究员眼睛通红,便让他们先去隔壁的临时休息室睡一觉。
几人也没有拒绝,毕竟这都凌晨三点了,实在有点熬不住了。
“李博士,要不你先去睡一觉,剩下的我来就好。”
许黎开口道。
“可是校长您....”
李默犹豫,他现在的确非常困,但是实验还没有做完,而且让自己老板一个人呆在这里也不合情理。
“没事,我还行,你先去休息吧,身体要紧,总是熬夜的话对身体不好,我这边成功的话,第一时间通知你。”
“好。”
见许黎如此坚持,李默也不再反对,转身离开了实验室。
见众人都走了,许黎呼唤了一声。
“小黑!”
“校长,我在!请问有什么吩咐?”
小黑的猫脸顿时从旁边的电脑弹了出来。
“帮我计算分析一下......”
现在要设计一下吸转器,那就必不可免的要进行分析计算。
而许黎自己计算,建立数据模型也是比较慢,所以就叫小黑来帮忙。
人工智能的计算分析能力肯定比较快。
而他暂时又不能将小黑暴露给其他人,所以支开其他人。
这样他就能借助小黑的力量加速极紫外光源的研究进展了。
科技之神从技校校长开始.
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无尽的昏迷过后,时宇猛地从床上起身。想要看最新章节内容,请下载爱阅小说app,无广告免费阅读最新章节内容。网站已经不更新最新章节内容,已经爱阅小说APP更新最新章节内容。
他大口的呼吸起新鲜的空气,胸口一颤一颤。
迷茫、不解,各种情绪涌上心头。
这是哪?
随后,时宇下意识观察四周,然后更茫然了。
一个单人宿舍?
就算他成功得到救援,现在也应该在病房才对。
还有自己的身体……怎么会一点伤也没有。
带着疑惑,时宇的视线快速从房间扫过,最终目光停留在了床头的一面镜子上。
镜子照出他现在的模样,大约十七八岁的年龄,外貌很帅。
可问题是,这不是他!下载爱阅小说app,阅读最新章节内容无广告免费
之前的自己,是一位二十多岁气宇不凡的帅气青年,工作有段时间了。
而现在,这相貌怎么看都只是高中生的年纪……
这个变化,让时宇发愣很久。
千万别告诉他,手术很成功……
身体、面貌都变了,这根本不是手术不手术的问题了,而是仙术。
他竟完全变成了另外一个人!
难道……是自己穿越了?
除了床头那摆放位置明显风水不好的镜子,时宇还在旁边发现了三本书。
时宇拿起一看,书名瞬间让他沉默。
《新手饲养员必备育兽手册》
《宠兽产后的护理》
《异种族兽耳娘评鉴指南》
时宇:???
前两本书的名字还算正常,最后一本你是怎么回事?
“咳。”
时宇目光一肃,伸出手来,不过很快手臂一僵。
就在他想翻开第三本书,看看这究竟是个什么东西时,他的大脑猛地一阵刺痛,大量的记忆如潮水般涌现。
冰原市。
宠兽饲养基地。
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御兽师?
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